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在半導體制造邁向更精細工藝節點(diǎn)的今天，晶圓缺陷檢測已成為決定良率與性能的關(guān)鍵。國儀量子推出新一代12寸晶圓掃描電鏡解決方案，以突破性技術(shù)實(shí)現晶圓全域、無(wú)需轉動(dòng)與傾斜、無(wú)損、高分辨率檢測，為先進(jìn)制程提供堅實(shí)支撐。
該方案配備超大行程樣品臺（X/Y≥300mm），可全面覆蓋12寸晶圓，無(wú)需切割或轉移樣品，真正實(shí)現“原尺寸、原位置"觀(guān)測。系統搭載肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，在15kV下分辨率達1.0 nm，即便在1kV低電壓下仍保持1.5 nm超高分辨率，極大降低電子束損傷，尤其適用于敏感結構與材料。
超大行程兩軸位移臺(行程>300mm)，可實(shí)現12寸晶圓的全范圍觀(guān)測
國儀量子12英寸晶圓檢測方案集成自動(dòng)進(jìn)樣與光學(xué)導航系統，支持晶圓快速更換與精準定位，大幅提升檢測效率與一致性。結合智能軟件系統，可實(shí)現自動(dòng)對焦、像散校正與多格式圖像輸出，助力用戶(hù)高效完成從缺陷定位到工藝優(yōu)化的全流程任務(wù)。
國儀量子12寸晶圓電鏡，不僅是一臺觀(guān)測設備，更是推動(dòng)半導體制造邁向更高良率與更小節點(diǎn)的關(guān)鍵工具。
9月26-30日 武漢
2025年全國電子顯微學(xué)學(xué)術(shù)年會(huì )
國儀量子八大電鏡解決方案
即將發(fā)布！
填寫(xiě)問(wèn)卷，會(huì )議結束后即可獲取方案PDF！
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