本文轉載自微信公眾號：中國科大理化科學(xué)實(shí)驗中心

近日，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗中心新安裝了國儀量子自主研制的超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。目前，該設備已完成前期調試，即將投入試運行。

中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗中心是中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)公共技術(shù)創(chuàng )新平臺實(shí)驗中心之一，從1979年開(kāi)始籌建。中心以“集中投入、統一管理、開(kāi)放公用、資源共享"為建設原則，以建立條件優(yōu)良、功能配套、管理規范、先進(jìn)高效的優(yōu)質(zhì)資源和共享機制為建設目標，為培養創(chuàng )新人才和開(kāi)展高水平科學(xué)研究工作提供技術(shù)支撐，為社會(huì )經(jīng)濟建設提供技術(shù)保障。作為學(xué)校最早建成的大型儀器開(kāi)放平臺，中心不僅承擔著(zhù)相關(guān)院系、國家研究中心、國家重點(diǎn)實(shí)驗室，省部級實(shí)驗室以及國家、省部級等各類(lèi)科研項目的技術(shù)支持分析測試任務(wù)，同時(shí)，也對相關(guān)學(xué)科提供教學(xué)、科研實(shí)驗條件與環(huán)境。

SEM5000X是一款超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實(shí)現了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設計的樣品倉，擴展接口增加至16個(gè)，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴展應用范圍。高級掃描模式和自動(dòng)功能增強，帶來(lái)了更強的性能和更好的體驗。

產(chǎn)品優(yōu)勢