電子顯微鏡是利用聚焦的電子束與樣品中的原子相互作用，從而產(chǎn)生超高放大倍率的圖像，可以突破光學(xué)顯微鏡的分辨率極限，實(shí)現納米級別的觀(guān)察?？蓮V泛應用于半導體制造、新能源、材料科學(xué)、生命科學(xué)、地球科學(xué)等應用領(lǐng)域中。

聚焦離子束鎵離子束掃描電鏡DB500產(chǎn)品優(yōu)勢：

高壓隧道技術(shù)和無(wú)漏磁物鏡的電子鏡筒，高分辨率成像，兼容磁性樣品

“承影”離子鏡筒，高穩定、高質(zhì)量的離子束流，用于高質(zhì)量納米加工和TEM制樣

樣品倉內壓電陶瓷驅動(dòng)的機械手，集成式控制方式，操作精準到位

自主可控，擴展性強，集成化設計的離子源更換時(shí)間快，極致的售后服務(wù)，提供免費的三年質(zhì)保無(wú)憂(yōu)服務(wù)

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡5000X產(chǎn)品優(yōu)勢：

超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰極限樣品拍攝場(chǎng)景

高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩定性的機架減震設計，可搭配整體罩殼設計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿(mǎn)足半導體和科研應用需求

鎢燈絲掃描電鏡SEM3200產(chǎn)品優(yōu)勢：

豐富的擴展性---SE\BSE\EDS\EBSD等

光學(xué)導航---可快速定位目標樣品和感興趣區域

*大圖拼接---可實(shí)現全自動(dòng)的采圖和拼接，展示超大視野畫(huà)面

圖像混合成像（SE+BSE）---在一個(gè)圖像中觀(guān)察到樣品的成分和表面信息

雙陽(yáng)極結構設計，提升了低電壓下的分辨率和成像質(zhì)量

*低真空模式---在低真空下提供樣品表面細節和形貌，軟件一鍵切換真空狀態(tài)

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